METHOD FOR MANUFACTURING CATALYST FOR CARBON NANOTUBE SYNTHESIS

摘要

단층 카본 나노튜브를 합성시킬 수 있음과 함께, 카본 나노튜브의 생산 효율을 향상시킨다. 드럼 내에 입상 담체를 공급하는 공급 공정(S11)과, 드럼(10)을 축선 둘레로 회전시키면서 드럼(10)의 축선 방향에 있어서의 한쪽 측단부와 다른쪽 측단부가 상대적으로 상하로 교대하도록 드럼을 요동시켜 스퍼터링을 실시하는 촉매 담지용 스퍼터링 공정(S12)과, 드럼을 경사시켜 드럼으로부터 입상 담체를 배출시킴으로써 입상 담체를 회수하는 회수 공정(S13)을 갖는 것으로 한다.