| 摘要 |
<p>Verfahren zur optischen Distanzmessung umfassend: ein Erzeugen eines ersten und eines zweiten Frequenzkammsignals (201, 202), wobei das erste und das zweite Frequenzkammsignal (201, 202) unterschiedliche Linienabstände aufweisen; eine Referenzmessung umfassend ein Überlagern zumindest eines Teils des ersten Frequenzkammsignals (201) und zumindest eines Teils des zweiten Frequenzkammsignals (202) in einem Referenzstrahlengang (103, 908) und ein Erfassen des durch den Referenzstrahlengang (103, 908) propagierten Überlagerungssignals; eine erste Messung umfassend ein Überlagern zumindest eines anderen Teils des ersten Frequenzkammsignals (201) mit zumindest einem anderen Teil des zweiten Frequenzkammsignals (202), wobei die überlagerten Frequenzkammsignale (201, 202) zur Interferenz gebracht werden, ein Einkoppeln des Überlagerungssignals in einen Messstrahlengang (104, 907), wobei das Überlagerungssignal durch den Messstrahlengang (104, 907) propagiert, und ein Erfassen des durch den Messstrahlengang (104, 907) propagierten Überlagerungssignals; und ein Ermitteln des Wegunterschiedes zwischen dem Referenzstrahlengang (103, 908) und dem Messstrahlengang (104, 907) aus den erfassten Überlagerungssignalen.</p> |
