发明名称 Beobachtungseinrichtung für eine Vakuumvorrichtung
摘要 <p>The invention relates to an observation device (10) for a vacuum device (117), for example a coating device, in which a window element (17) can be easily exchanged by moving a moveable element (14) without essentially interfering with the vacuum in the vacuum device (117).</p>
申请公布号 DE112013004056(A5) 申请公布日期 2015.05.07
申请号 DE20131104056T 申请日期 2013.07.17
申请人 CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 发明人 MARGRAF, JÖRG
分类号 B01J3/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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