一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法

摘要

一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，将腐蚀铝箔浸入到浓度为0.001～0.1mol/L，pH值为3～7的表面活性剂溶液；浸泡完毕后烘干，得到改性的腐蚀铝箔；将改性的腐蚀铝箔浸入到含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体溶液中，通过物理吸附或化学吸附在铝箔表面沉积一层含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体，接着依次热处理、阳极氧化，在改性的腐蚀铝箔上形成具有高介电常数的氧化铝/氧化物复合介质膜，完成腐蚀铝箔的表面改性。本发明实施设备简单，所用表面活性剂成本低廉，易于大规模工业化，表面处理后能显著改善高介电氧化物在腐蚀铝箔表面的成膜性，大幅提高铝箔阳极氧化后的比容。

主权项

一种提高腐蚀铝箔比容的表面改性方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将腐蚀铝箔浸入到浓度为0.001～0.1mol/L，pH值为3～7的表面活性剂溶液；浸泡完毕后烘干，得到改性的腐蚀铝箔；其中，浸泡温度为0～80℃，浸泡时间为1～60min；2)将改性的腐蚀铝箔浸入到含Ti前驱体溶液、含Zr的前驱体溶液、含Ta的前驱体溶液、含Nb的前驱体溶液或含Hf的前驱体溶液中，通过物理吸附或化学吸附在铝箔表面沉积一层含Ti、Zr、Nb或Ta的前躯体，接着在300‑600℃热处理1～60min，随后在电压为10‑600V，电流密度为10‑100mA/cm²的条件下阳极氧化，以在改性的腐蚀铝箔上形成具有高介电常数的氧化铝/氧化物复合介质膜，完成腐蚀铝箔的表面改性。