一种防水晶圆干燥箱

摘要

本实用新型提供一种防水晶圆干燥箱，包括干燥箱体及结合于所述干燥箱体上方的盖体，所述盖体由第一遮罩及第二遮罩组成；所述第一遮罩顶部还结合有第一防水罩及第二防水罩；所述第一防水罩固定连接于所述第一遮罩顶部；所述第二防水罩位于所述第一防水罩下方，并通过转轴连接结构活动连接于所述第一遮罩顶部；当所述盖体开启时，所述第二防水罩立起位于所述第一防水罩内部，当所述盖体闭合时，所述第二防水罩放倒遮盖住所述第一遮罩及第二遮罩之间的空隙。本实用新型的防水晶圆干燥箱可以有效防止液体滴落到干燥箱盖板开口处，并通过气体管道将滴落到第二防水罩表面的液体吹走，有效降低干燥好的晶圆再次被液体污染致出现缺陷的几率。

主权项

一种防水晶圆干燥箱，包括干燥箱体及结合于所述干燥箱体上方的盖体，所述盖体由第一遮罩及第二遮罩组成，其特征在于：所述第一遮罩顶部还结合有第一防水罩及第二防水罩；所述第一防水罩固定连接于所述第一遮罩顶部；所述第一防水罩为一面开口结构，且所述第一防水罩的开口面向所述第二遮罩；所述第二防水罩位于所述第一防水罩下方，并通过转轴连接结构活动连接于所述第一遮罩顶部；当所述第一遮罩及第二遮罩背向运动开启时，所述第二防水罩立起位于所述第一防水罩内部，当所述第一遮罩及第二遮罩相向运动闭合时，所述第二防水罩放倒遮盖住所述第一遮罩及第二遮罩之间的空隙。