发明名称 |
一种太阳能电池片制备系统 |
摘要 |
本实用新型公开了一种太阳能电池片制备系统,由电池片制绒抛光装置、清洗装置、氧化装置、扩散装置、刻蚀装置、PECVD装置、金属化装置依次连接组成;所述电池片制绒抛光装置包括依次连接的初步制绒槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、抛光槽、第三水槽、制绒槽和第四水槽,以及设于各槽上方用于托送硅片的下滚轮。本实用新型提供的太阳能电池片制备系统,抛光硅片背面获得平坦的表面,而后只在正面制备出黑硅绒面结构,降低硅片正面反射率的同时,提高背面反射率,减小复合面积,从而提升电池的电压、电流和效率,有效提升黑硅电池电性能,并减少化学品的消耗。 |
申请公布号 |
CN204315618U |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201520004215.0 |
申请日期 |
2015.01.05 |
申请人 |
无锡德鑫太阳能电力有限公司 |
发明人 |
罗西佳;蒋仙;吴而义;李华;范琼;刘林华 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种太阳能电池片制备系统,由电池片制绒抛光装置、清洗装置、氧化装置、扩散装置、刻蚀装置、PECVD装置、金属化装置依次连接组成,其特征在于:所述电池片制绒抛光装置包括依次连接的初步制绒槽、第一水槽、混酸清洗槽、第二水槽、抛光槽、第三水槽、制绒槽和第四水槽,以及设于各槽上方用于托送硅片的下滚轮;所述初步制绒槽用于盛放初步制绒溶液,其上方设有用于下压硅片的上滚轮,在上滚轮和下滚轮的作用下,硅片从所述初步制绒溶液中穿过并进行初步制绒,去除损伤层;所述混酸清洗槽用于盛放清洗溶液,其上方设有用于下压硅片的上滚轮,在上滚轮和下滚轮的作用下,硅片从所述清洗溶液中穿过并去除杂质离子;所述抛光槽用于盛放抛光溶液,其上方设有与该抛光槽连接的水刀,所述抛光溶液通过水刀喷洒在硅片上表面进行抛光,硅片下表面不接触抛光溶液;所述制绒槽用于盛放制绒溶液,硅片在所述制绒溶液液面上进行下表面制绒,硅片上表面不接触制绒溶液。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区新华路12号 |