固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法

摘要

本发明提供固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法。实施方式的固体摄像装置具备：光电转换元件、杂质层、低浓度区域和晶体管。光电转换元件设于半导体层。杂质层设于与排列有光电转换元件的半导体层相同的层，包含与光电转换元件的电荷蓄积区域的导电型相反的杂质。低浓度区域设于杂质层的内部，杂质的浓度比杂质层低。晶体管在杂质层设有有源区。

主权项

一种固体摄像装置，具备：多个光电转换元件，设于半导体层；杂质层，设于与排列有上述光电转换元件的半导体层相同的层，并包含与上述光电转换元件的电荷蓄积区域的导电型相反的杂质；低浓度区域，设于上述杂质层的内部，上述杂质的浓度比上述杂质层低；和晶体管，在上述杂质层设有有源区。