惯性测量模块及三轴加速度计

摘要

本发明公开了一种惯性测量模块及三轴加速度计，包括通过弹性梁悬空支撑在基板上方的质量块；弹性梁包括位于两条用于连接质量块的第一弹性梁，以及与两条第一弹性梁交叉连接的用于连接基板的第二弹性梁，两条第一弹性梁沿着质量块X轴方向的中线对称分布，第二弹性梁偏离质量块Y轴方向的中线；质量块在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极、第二可动电极；本发明的惯性测量模块，平面内的某一轴的运动不会受到结构偏心特性的影响，而且采用两条沿着质量块X轴方向中线对称的第一弹性梁连接质量块，可以确保质量块不会沿着第一弹性梁发生偏转，质量块与第一弹性梁之间只会发生线运动，从而提高了检测的精度；而且也不会加剧轴间的耦合。

主权项

一种惯性测量模块，其特征在于，包括：基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片(4)，悬空在基板上方的质量块(1)；所述质量块(1)上设有与第一极片(4)组成Z轴检测电容的上电极；用于连接基板和质量块(1)的弹性梁，所述弹性梁包括位于X轴方向的两条第一弹性梁(12)以及位于Y轴方向、并与两条第一弹性梁(12)十字交叉连接的第二弹性梁(11)，其中，第二弹性梁(11)的两端连接在基板的锚点(6)上，两条第一弹性梁(12)分别连接质量块(1)；其中，所述两条第一弹性梁(12)沿着质量块(1)X轴方向的中线对称分布，所述第二弹性梁(11)偏离质量块(1)Y轴方向的中线；所述质量块(1)在Y轴、X轴方向上还分别设置有第一可动电极(9)、第二可动电极(10)；所述基板上设置有用于与第一可动电极(9)、第二可动电极(10)分别组成Y轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极(2)、第二固定电极(3)。