机械手、机械手控制装置以及机械手系统

摘要

本发明提供能够容易且可靠地抑制振动的机械手、机械手控制装置以及机械手系统。机械手（1）具备：基台（11）；第一臂（12），其能够相对于基台（11）绕第一转动轴转动；第二臂（13），其能够相对于第一臂（12）绕第二转动轴转动，该第二转动轴是与第一转动轴正交的轴、或者是平行于与第一转动轴正交的轴的轴；第三臂（14），其能够相对于第二臂（13）绕第三转动轴转动，该第三转动轴是与第二转动轴平行的轴；第一角速度传感器，其设置于第一臂（12）；以及第二角速度传感器，其设置于第三臂（14），其中，第一角速度传感器的检测轴与第一转动轴形成的角是规定的第一角度，第二角速度传感器的检测轴与第二转动轴形成的角是规定的第二角度。

主权项

一种机械手，其特征在于，具备：基台；第一臂，其以能够以第一转动轴为转动中心转动的方式连结于所述基台；第二臂，其以能够以第二转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第一臂，其中，所述第二转动轴是与所述第一转动轴正交的轴、或者是和与所述第一转动轴正交的轴平行的轴；第三臂，其以能够以第三转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第二臂，其中，所述第三转动轴是与所述第二转动轴平行的轴；第一惯性传感器，其设置于所述第一臂；以及第二惯性传感器，其设置于所述第三臂，所述第一惯性传感器的检测轴与所述第一转动轴形成的角是规定的第一角度，所述第二惯性传感器的检测轴与所述第三转动轴形成的角是规定的第二角度。