4000nm带通红外滤光敏感元件

摘要

本发明公开了一种4000nm带通红外滤光敏感元件，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的4000nm带通红外滤光敏感元件，其中心波长4000±40nm，其在医用红外气体检测分析过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件的峰值透过率Tp≥70％，带宽=120±20nm，400～5500 nm（除通带外），Tavg<0.1%。

主权项

一种4000nm带通红外滤光敏感元件，包括以Si为原材料的基板（2），以Ge、SiO为第一镀膜层（1）和以Ge、SiO为第二镀膜层（3），且所述基板（2）设于第一镀膜层（1）与第二镀膜层（3）之间，其特征是所述第一镀膜层（1）由内向外依次排列包含有162nm厚度的Ge层、220nm厚度的SiO层、88nm厚度的Ge层、312nm厚度的SiO层、70nm厚度的Ge层、198nm厚度的SiO层、270nm厚度的Ge层、313nm厚度的SiO层、114nm厚度的Ge层、330nm厚度的SiO层、133nm厚度的Ge层、140nm厚度的SiO层、93nm厚度的Ge层、397nm厚度的SiO层、176nm厚度的Ge层、272nm厚度的SiO层、144nm厚度的Ge层、552nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、272nm厚度的SiO层、123nm厚度的Ge层、419nm厚度的SiO层、281nm厚度的Ge层、233nm厚度的SiO层、59nm厚度的Ge层、395nm厚度的SiO层、456nm厚度的Ge层、594nm厚度的SiO层、434nm厚度的Ge层、376nm厚度的SiO层；所述的第二镀膜层（3）由内向外依次排列包含有243nm厚度的Ge层、562nm厚度的SiO层、243nm厚度的Ge层、2248nm厚度的SiO层、243nm厚度的Ge层、562nm厚度的SiO层、243nm厚度的Ge层、562nm厚度的SiO层、243nm厚度的Ge层、2248nm厚度的SiO层、223nm厚度的Ge层、150nm厚度的SiO层。