发明名称 Procédé permettant de régler une composition en phase gazeuse
摘要
申请公布号 FR1345266(A) 申请公布日期 1963.12.06
申请号 FR19620917988 申请日期 1962.12.07
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人
分类号 C01B33/06;C23C16/448;C23C16/52;H01L39/00 主分类号 C01B33/06
代理机构 代理人
主权项
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