发明名称 |
Procédé permettant de régler une composition en phase gazeuse |
摘要 |
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申请公布号 |
FR1345266(A) |
申请公布日期 |
1963.12.06 |
申请号 |
FR19620917988 |
申请日期 |
1962.12.07 |
申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
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分类号 |
C01B33/06;C23C16/448;C23C16/52;H01L39/00 |
主分类号 |
C01B33/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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