传感器元件、力检测装置、机器人

摘要

本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。

主权项

一种传感器元件，其特征在于，具有：X切割板；第1Y切割板，其以所述X切割板的晶轴z与该第1Y切割板的晶轴x正交的方式配置；第2Y切割板，其以所述第1Y切割板的所述晶轴x与该第2Y切割板的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子，将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴z为法线的所述侧面。