| 发明名称 |
A METHOD OF CONTROLLING THE SWITCHED MODE ION ENERGY DISTRIBUTION SYSTEM |
| 摘要 |
<p>플라즈마 챔버에 이온 에너지를 조정하며 기판을 기판 지지부에 척킹하는 시스템, 방법 및 장치가 개시된다. 예시적인 방법은 플라즈마 챔버에 기판을 위치시키는 단계, 상기 플라즈마 챔버에 플라즈마를 형성하는 단계, 상기 기판에 주기 전압 함수(또는 변경된 주기 전압 함수)를 인가하기 위해 기판에 대한 파워를 제어 가능하게 스위칭하는 단계, 및 주기 전압 함수의 다중 사이클에 걸쳐 기판의 표면에서 소망하는 이온 에너지 분포에 응답하여 주기 전압 함수를 변조하여 시간-평균 방식으로 정의된 이온 에너지 분포를 달성하는 단계를 포함한다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150047599(A) |
申请公布日期 |
2015.05.04 |
| 申请号 |
KR20157007771 |
申请日期 |
2013.08.26 |
| 申请人 |
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
BROUK VICTOR;HOFFMAN DANIEL J.;CARTER DANIEL |
| 分类号 |
H01J37/32;B44C1/22;C23C14/54;C23C16/52;H05H1/00;H05H1/24 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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