加工台用治具、加工台用治具之制造方法及雷射加工方法;JIG FOR PROCESSING UNITS, METHOD OF MANUFACTURE AND LASER PROCESSING METHOD

摘要

本发明的加工台用治具(jig)1A，系于进行雷射开孔加工之际载置于雷射加工装置所具备之加工台3上，并且藉由于上面侧载置作为被处理基板之被加工物2而配置于被加工物2的底面侧与加工台3的上面侧之间，并且具备积层部，该积层部系将反射层以各反射层可剥离地藉由接着层而积层成板状，于雷射开孔加工之际，照射于被加工物2的雷射光束之中，于被加工物2开通贯通孔，而该反射层系将通过被加工物2之雷射光束反射。