涂覆装置

摘要

本发明提供一种能抑制涂覆品质下降之涂覆装置。本发明之涂覆装置10包括：第1流路13，其将贮存涂覆液之箱体11与向对象物19涂覆涂覆液以形成涂膜之头部12之间连结；第1泵14，其设置于第1流路13，于涂覆执行期间将涂覆液自箱体11供给至头部12；过滤器15，其设置于第1流路13上且第1泵14之上游侧之位置，对涂覆液进行过滤；第2流路16，其于过滤器15与第1泵14之间自第1流路13分支，于过滤器15之上游侧与第1流路13连接；以及第2泵17，其设置于第2流路16，于涂覆停止期间使涂覆液至少经由过滤器15及第2流路16进行循环。