过滤单元、涂布装置及涂布膜之制造方法;FILTER UNIT, COATING APPARATUS, AND METHOD FOR PRODUCING COATING FILM

摘要

本发明之过滤单元包含有过滤器及壳体，前述过滤器之一端侧具有开口，且由该过滤器之外侧将前述涂布液过滤到内侧，前述壳体于一端侧具有前述涂布液之流入口、及于他端侧具有经前述过滤器过滤之涂布液之排出口，在前述壳体之前述他端侧，以连通前述开口与前述排出口的方式安装有前述过滤器，在前述壳体之前述他端侧之前述过滤器的外侧形成有用以排出空气之排出孔。