Physikalische-Gasphasenabscheidung-Kachel-Anordnung und Physikalische-Gasphasenabscheidung-Anordnung

摘要

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Physikalische-Gasphasenabscheidung-Kachel-Anordnung (100) bereitgestellt. Die Physikalische-Gasphasenabscheidung-Kachel-Anordnung (100) kann mehrere nebeneinander angeordnete Physikalische-Gasphasenabscheidung-Kacheln (700) und eine federelastische Struktur (702), welche eingerichtet ist, die mehreren nebeneinander angeordneten Physikalische-Gasphasenabscheidung-Kacheln (700) zusammenzudrücken, aufweisen.