| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vakuumbehandlungsanlage zur Behandlung eines bandförmigen Substrates in der das bandförmige Substrat entlang einer Substratführungslinie transportierbar ist und welche eine Kammer mit einer Behandlungseinrichtung aufweist, wobei die Behandlungseinrichtung als austauschbares Behandlungsmodul ausgebildet ist. Die Aufgabe der Erfindung, eine ausreichend lange Substratbehandlungsstrecke und in ihrer Länge unabhängig von der Länge einer Kammer in der Vakuumbehandlungsanlage zu realisieren und das zu beschichtende Substrat unnötig durch zusätzliche Transportlogistik zu strapazieren, wird dadurch gelöst, dass die Behandlungseinrichtung eine Substratbehandlungsstrecke aufweist, wobei die Länge der in dem Behandlungsmodul gebildeten Substratbehandlungsstrecke durch eine variierbar gestaltete mehrfache Umlenkung der Substratführungslinie variabel ausgebildet ist.</p> |
