有機ＥＬ素子の製造方法

摘要

上部電極及び下部電極からなる一対の電極と、その間に設けられた有機機能層とを有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、マグネトロンスパッタ法を用いて、４．５Ｗ／ｃｍ2以上、９．０Ｗ／ｃｍ2以下の成膜電力密度で、有機機能層上に上部電極を形成する。