| 摘要 |
<p>ガラス素板の表面に圧縮応力層を形成する工程（Ｓ７０）と、研磨パッドを含む研磨機を準備し、圧縮応力層が形成されたガラス素板の表面に研磨砥粒を含む研磨液を供給しつつ、圧縮応力層が形成されたガラス素板の表面に対して研磨パッドを用いて精密研磨を行なう工程（Ｓ８０）と、研磨パッドからガラス素板を取り外した後、ガラス素板の表面に洗浄液を供給しつつ、圧縮応力層が形成されたガラス素板の表面に対してスクラブ洗浄を行なう工程（Ｓ９０）と、を備え、研磨パッドからガラス素板を取り外す際、ガラス素板は、研磨砥粒の濃度が０．５ｗ％以上１０ｗ％以下の液体と接触した状態で研磨パッドから取り外される。</p> |
