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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS OF ELECTRICAL PROPERTY MEASUREMENT USING AN AFM OPERATING IN PEAK FORCE TAPPING MODE
摘要
申请公布号
EP2864798(A1)
申请公布日期
2015.04.29
申请号
EP20130806671
申请日期
2013.06.24
申请人
BRUKER NANO, INC.
发明人
LI, CHUNZENG;HU, YAN;MA, JI;HE, JIANLI;HUANG, LIN;MINNE, STEPHEN, C.;MITTEL, HENRY;WANG, WEIJIE;HU, SHUIQING;SU, CHANMIN
分类号
G01Q60/30;G01Q60/34;G01Q60/40
主分类号
G01Q60/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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