测试结构及其形成方法、测试方法

摘要

一种测试结构及其形成方法、测试方法，其中，所述测试结构，包括：位于衬底表面的介质层、介质层表面的第一牺牲层、第一牺牲层表面的曲翘层，曲翘层与第一牺牲层的材料不同，且曲翘层与第一牺牲层接触的表面具有应力；位于曲翘层第一端的固定结构，固定结构包括第一插塞，第一插塞贯穿曲翘层和第一牺牲层并位于介质层表面；包围固定结构的第一开口，第一开口顶部的图形为环形，第一开口暴露出固定结构的侧壁表面和第一牺牲层表面；位于曲翘层第二端的第二插塞，第二插塞贯穿曲翘层和第一牺牲层并位于介质层表面，第二端与第一端相对；固定结构或第二插塞的材料与第一牺牲层不同。采用所述测试结构进行检测的过程简单、且准确度高。

主权项

一种测试结构，其特征在于，包括：衬底，所述衬底表面具有介质层，所述介质层表面具有第一牺牲层；位于所述第一牺牲层的部分表面的曲翘层，所述曲翘层与第一牺牲层的材料不同，且所述曲翘层与第一牺牲层接触的表面具有应力；位于所述曲翘层内的固定结构，所述固定结构贯穿所述曲翘层的第一端，所述固定结构包括第一插塞，所述第一插塞贯穿所述曲翘层和第一牺牲层并位于介质层表面，所述固定结构的材料与第一牺牲层不同；包围所述固定结构的第一开口，所述第一开口顶部的图形为环形，所述第一开口暴露出固定结构的侧壁表面和第一牺牲层表面，所述第一开口内具有第二牺牲层；位于所述曲翘层第二端的第二插塞，所述第二插塞贯穿所述曲翘层和第一牺牲层并位于介质层表面，所述第二端与第一端相对，且所述第二插塞的材料与第一牺牲层不同。