发明名称 |
一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法,包括如下组分:甲基苯基含氢聚硅氧烷、2-巯基苯并噻唑、羟基苯并噻唑、氯铂酸异丙醇溶液、亚磷酸酯类化合物、溶剂A和溶剂B。本发明含硅缓蚀剂组合物制备方法为将甲基苯基含氢聚硅氧烷、2-巯基苯并噻唑和羟基苯并噻唑加入到溶剂A中,在70~80℃时滴加氯铂酸异丙醇溶液,在氮气保护下反应4~10小时,反应混合物去除溶剂后,得到一次产物M;将一次产物M加入溶剂B中,然后加入亚磷酸酯类化合物,在50~80℃,搅拌1~5小时,即得本发明缓蚀剂。本发明缓蚀剂组合物具有更好的热稳定性、环境适应性和更强的吸附成膜特性,用量低、持续抗腐蚀性好。 |
申请公布号 |
CN104562035A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
申请号 |
CN201310506547.4 |
申请日期 |
2013.10.24 |
申请人 |
中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院 |
发明人 |
王鑫;孙鹏;刘纾言 |
分类号 |
C23F11/173(2006.01)I |
主分类号 |
C23F11/173(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种含硅缓蚀剂组合物,其特征在于所述缓蚀剂组合物包括:5~25质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.1~2质量份2‑巯基苯并噻唑、0.1~3质量份羟基苯并噻唑、0.01~0.1质量份氯铂酸异丙醇溶液、1~20质量份亚磷酸酯类化合物、100~500质量份溶剂A和100~500质量份溶剂B。 |
地址 |
100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号 |