| 发明名称 | 一种束流检测及分析装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种束流检测及分析装置，包括：法拉第传动机构(1)、接束法拉第杯(2)、光栏运动机构(3)、分析光栏(4)、水冷却模块(5)，其中法拉第传动机构(1)负责接束法拉第杯(2)的快速平缓运动；光栏运动机构(3)引导分析光栏(4)的双方向等距运动；水冷却模块(5)冷却整个流检测及分析装置。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 申请公布号 | CN104576272A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201310507655.3 | 申请日期 | 2013.10.24 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 李幸夫 |
| 分类号 | H01J37/244(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/244(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种束流检测及分析装置，包括：法拉第传动机构(1)、接束法拉第杯(2)、光栏运动机构(3)、分析光栏(4)、水冷却模块(5)，其特征在于：调节装置上下对称布置在束流通道(1)两侧。 | ||
| 地址 | 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||