刻印方法和刻印装置

摘要

一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。

主权项

一种刻印方法，在该刻印方法中进行模具和基片的对准控制并且将形成在模具上的图案转印到设置在基片上的图案形成层上，所述刻印方法包括：在对准控制开始后在进行对准控制的同时使所述模具和所述基片彼此靠近的步骤，以使模具与图案形成层相互接触并且继而将图案形成层固化；检测步骤，用于借助施加到模具或者基片上的负荷、模具与基片之间的间隙、模具或者基片的位移、工作台的转矩、和来自于模具或者基片的反射光的量中的至少一项，检测模具和图案形成层中的至少一项的状态；在图案形成层固化后增大模具与基片之间的间隙的步骤；和在对准控制开始之后并且在所述模具接触图案形成层之前和之后中的至少一个时改变用于对准控制的控制参数的步骤，其中所述控制参数是在用于将保持所述模具的模具保持部和保持所述基片的基片保持部中的一个相对于另外一个定位的控制中所使用的参数，并且其中在改变用于对准控制的控制参数的步骤中所改变的控制参数包括PID参数、前馈参数和滤波器参数中的任何一个。