| 发明名称 |
一种金属陶瓷复合结构的纳米多层膜及其制备方法 |
| 摘要 |
本发明公开了一种金属陶瓷复合结构的纳米多层膜及其制备方法，所述金属陶瓷复合结构的纳米多层膜由顺次排序的第一金属亚层、第一陶瓷亚层、第二金属亚层、第二陶瓷亚层、直至第m金属亚层和第m陶瓷亚层组成；每一陶瓷亚层由多层调制周期陶瓷层构成，每一调制周期陶瓷层由陶瓷TiAlN层和陶瓷CrN层构成；每一金属亚层由多层调制周期金属层构成，每一调制周期金属层由金属TiAl层和金属Cr层构成。本发明采用物理气相沉积工艺制得金属陶瓷复合结构的纳米多层膜，膜硬度为28～32GPa，抗氧化温度为900～1000℃，划痕法结合力为60～100牛顿。 |
| 申请公布号 |
CN104553139A |
申请公布日期 |
2015.04.29 |
| 申请号 |
CN201410328971.9 |
申请日期 |
2014.07.11 |
| 申请人 |
陶冶 |
发明人 |
陶冶;刘培英 |
| 分类号 |
B32B15/04(2006.01)I;B32B18/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
B32B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种金属陶瓷复合结构的纳米多层膜，其特征在于：所述金属陶瓷复合结构的纳米多层膜由顺次排序的第一金属亚层、第一陶瓷亚层、第二金属亚层、第二陶瓷亚层、直至第m金属亚层和第m陶瓷亚层组成；每一金属亚层由多层调制周期金属层构成，每一调制周期金属层由金属TiAl层和金属Cr层构成；每一陶瓷亚层由多层调制周期陶瓷层构成，每一调制周期陶瓷层由陶瓷TiAlN层和陶瓷CrN层构成。 |
| 地址 |
100191 北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学家属区211住宅412房间 |
