一种加速度计的Z轴结构及其生产方法

摘要

本发明公开了一种加速度计的Z轴结构及其生产方法，包括衬底、固定电极、质量块，在所述衬底的表面上设置有第一锚点，所述固定电极通过其端部连接在第一锚点上，所述固定电极通过第一锚点悬置在衬底上；在所述衬底的表面上还设置有中间锚点，所述质量块通过中间锚点悬置在固定电极的上方。本发明的Z轴结构，固定电极通过第一锚点与衬底连接，使得固定电极与衬底之间具有一定的间隙，这就将衬底到固定电极的形变传输通道切断，减小了固定电极与衬底之间的接触面积，可以有效避免由于外界应力和温度变化引起的衬底的形变传到固定电极上，大大降低了Z轴结构的零点漂移。

主权项

一种加速度计的Z轴结构，其特征在于：包括衬底(1)、固定电极(2)、质量块(3)，在所述衬底(1)的表面上设置有第一锚点(20)，所述固定电极(2)通过其端部连接在第一锚点(20)上，所述固定电极(2)通过第一锚点(20)悬置在衬底(1)上；在所述衬底(1)的表面上还设置有中间锚点(4)，所述质量块(3)通过中间锚点(4)悬置在固定电极(2)的上方。