一种钼铌合金靶材板的制备方法

摘要

本发明公开了一种钼铌合金靶材板的制备方法，将钼粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的钼粉；将铌粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的铌粉；分别将钼粉与铌粉混合得到三种粒度分布的钼铌合金粉；将钼铌合金粉末压制成坯料，置于中频炉中氢气烧结，即得到钼铌合金靶材板。本发明钼铌合金靶材板的制备方法，操作简单、成本低，通过粉末冶金方法即可直接烧制出高质量的钼铌合金靶材板，本发明三种不同粒度分布的钼铌合金粉经过冷等静压压制出板坯，中频氢气烧制出密度大于9.8g/cm³、O含量低于1000ppm的高品质钼铌合金靶材板。

主权项

一种钼铌合金靶材板的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，将粒度分布d50：9.0～20.0μm的钼粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布d50：5.0～7.0μm、8.0～10.0μm、11.0～13.0μm的钼粉；步骤2，将粒度分布为d50：15.0～30.0μm的铌粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布d50：5.0～6.0μm、7.0～8.0μm、9.0～10.0μm的铌粉；步骤3，分别将粒度分布为d50：5.0～7.0μm的钼粉与粒度分布为d50：5.0～6.0μm的铌粉混合、将粒度分布为d50：8.0～10.0μm的钼粉与粒度分布为d50：7.0～8.0μm的铌粉混合、将粒度分布为d50：11.0～13.0μm的钼粉与粒度分布为d50：9.0～10.0μm的铌粉混合，然后分别置于真空三维混料机中混合均匀，得到三种粒度分布为d50：5.0～7.0μm、8.0～10.0μm、11.0～13.0μm的钼铌合金粉；步骤4，将步骤3得到的钼铌合金粉末在冷等静压机中在150～300Mpa下压制成坯料，置于中频炉中氢气烧结，即得到钼铌合金靶材板。