用于检测封闭的孔的表面分析法和装置

摘要

通过对具有孔的未覆层和已覆层的构件进行激光三角测量，可在覆层之后检测孔的精确位置用于再次打开。

主权项

用于在覆层之后对构件(120、130)的待打开的、至少部分封闭的所有孔进行表面分析的方法，其中在未覆层的状态下借助于通过激光三角测量法进行的测量来测量具有不封闭的孔的构件(120、130)并且生成遮罩模型(19)，所述遮罩模型(19)至少包括所述孔的位置以及所述孔的纵轴线的定向，或者所述遮罩模型(19)能够从数据记录中事先已知，并且借助于激光三角测量法利用已覆层的所述构件(120、130)和由此至少部分封闭的孔来执行测量，其中，这样生成的数据记录表示覆层模型(4)，并且将所述遮罩模型(19)与所述覆层模型(4)进行比较，以便实现检测封闭的孔,其中，通过迭代法来测定遮罩模型(19)和覆层模型(4)的最可能的适配,其中，所述遮罩模型(19)由所述构件(120、130)的设计事先已知。