一种涂布机及其尘粒检测、清除方法

摘要

本发明公开了一种涂布机，包括：机台、构台、构台正下方设置的喷嘴；所述机台上在所述构台的左右两侧各设置有一条方向与所述构台的运动方向平行的导轨，一条导轨上载有第一光发射器，另一条导轨上载有第一光接收器；所述机台上在所述构台的前后两侧各设有一条方向与所述构台运动方向垂直的导轨，一条导轨上载有第二光发射器，另一条导轨上载有第二光接收器；其中，所述第一光接收器用于接收所述第一光发射器发出的光；所述第二光发射器用于接收所述第二光发射器发出的光。本发明还同时公开了一种利用所述涂布机检测、清除尘粒的方法，本申请提供的技术方案可精确确定基板表面尘粒的位置，且可快速彻底清除所述尘粒，降低成本。

主权项

一种涂布机，包括：用于承载基板的机台、对基板进行涂布的构台、构台上设置的喷嘴；其特征在于，所述机台上在所述构台的左右两侧各设置有一条方向与所述构台的运动方向平行的导轨，一条导轨上载有第一光发射器，另一条导轨上载有第一光接收器；所述机台上在所述构台的前后两侧各设有一条方向与所述构台运动方向垂直的导轨，一条导轨上载有第二光发射器，另一条导轨上载有第二光接收器；其中，所述第一光接收器用于接收所述第一光发射器发出的光；所述第二光发射器用于接收所述第二光发射器发出的光。