一种可发射平行光测量表面三维形貌的激光干涉仪系统

摘要

本发明涉及一种可发射平行光测量表面三维形貌的激光干涉仪系统，其特征在于，包括分光镜，用于将平行光分成满足相干光束条件的两束光；设置于分光镜右侧的参考镜；压电陶瓷及其驱动电路，用于产生时间序列上的多幅干涉图；激光器，设置于分光镜左侧，用于发出激光束；物镜，设置于分光镜正上方，用于将两束平行光聚焦成一束平行光；CCD摄像机，设置于物镜正上方，用于采集平行干涉光的光强；图像采集卡，该图像采集卡连接CCD摄像机，用于采集光强数据；以及计算机，根据图像采集卡的光强数据计算出此平行光范围内被测物体表面的形貌。本发明的有益效果为：结构简单，操作方便，测量范围广，可用于观测整个平面纳米级位移的测量。

主权项

一种可发射平行光测量表面三维形貌的激光干涉仪系统，其特征在于，包括分光镜，用于将平行光分成满足相干光束条件的两束光；设置于分光镜右侧的参考镜；压电陶瓷及其驱动电路，用于驱动参考镜产生几分之一波长量级的光程变化以改变参考相位，并产生时间序列上的多幅干涉图；激光器，设置于分光镜左侧，用于发出激光束；聚光镜，安装于激光仪轴上，用于产生满足相干光束的平行光；物镜，设置于分光镜正上方，用于将两束平行光聚焦成一束平行光；CCD摄像机，设置于物镜正上方，用于采集平行干涉光的光强；图像采集卡，该图像采集卡连接CCD摄像机，用于采集光强数据；以及计算机，所述计算机连接图像采集卡，用于根据图像采集卡的光强数据计算出此平行光范围内被测物体表面的形貌。