微纳复合结构模板及其制造方法

摘要

本发明提供一种微纳复合结构模板及其制造方法，该方法通过在金属铝上覆盖图形化的光刻胶层，并进行刻蚀，以在铝片上形成预定图案的微米结构，该微米结构为间隔设置微米级凸起和微米级凹陷所构成；然后通过阳极氧化法在微米结构上形成纳米级孔洞阵列；通过电铸，制备出与铝薄片上微纳复合结构互补的具有微纳复合结构的模板；利用所制备的微纳复合结构模板便可以直接进行压印制备微纳复合结构。该方法工艺简便，成本低；在压印工艺中，利用该模板实现微纳复合结构的一步式、低成本制造。

主权项

微纳复合结构模板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将铝薄片清洁干净；(2)在清洁的铝薄片表面涂敷一层光刻胶；(3)对铝薄片上的光刻胶进行微图形化加工，形成光刻胶的微米图形结构；(4)以光刻胶微米图形结构为掩膜进行刻蚀，对铝薄片进行图形化加工；(5)去除铝薄片表面的光刻胶图形化结构层，得到的铝薄片上形成的微米级凸起和凹下结构，制得微图形化的铝薄片；(6)采用阳极氧化法，将上步得到的微图形化的铝薄片作为阳极，以铜或铂作为阴极，浸没于电解液中，进行电解，在铝薄片的微米级凸起和凹下结构上形成纳米级的孔阵列；(7)将铝薄片从电解液中取出，清洗干净即得到具有微纳复合结构的铝薄片；(8)采用电铸法，以步骤(7)中得到的具有微纳复合结构的铝薄片为母板，在金属电解液中进行电铸，形成与铝薄片上微纳复合结构互补的微纳复合结构模板；(9)去除铝薄片母板，得到微纳复合结构模板，其材质为金属。