一种复合缓蚀剂

摘要

本发明提供一种复合缓蚀剂，按质量份由以下组分组成：钼酸盐15～23，亚硝酸钠10～18，苯并三氮唑1～8，聚乙烯醇5～10，多聚磷酸钠7～15，水15～35。其制备方法为按比例于80℃条件下，将聚乙烯醇溶于水中，冷却至室温，依次加入钼酸盐、亚硝酸钠和苯并三唑，搅拌0.5～3h，再加入多聚磷酸钠搅拌均匀即可。

主权项

一种复合缓蚀剂，按质量份由以下组分组成：