发明名称 采用氮化铝钛材料的集热元件抗氢阻隔层及制备方法
摘要 本发明涉及一种采用氮化铝钛材料的集热元件抗氢阻隔层及制备方法。太阳能集热元件包含钢管和与其同心安装的玻璃管,所述钢管的外壁和/或内壁上设有抗氢阻隔层,所述抗氢阻隔层的材料为氮化铝钛(TixAlyN)。该抗氢阻隔层可以采用反应磁控共溅射工艺、钛铝烧结靶反应磁控溅射工艺制备,或者采用高能脉冲磁控溅射工艺(HIPIMS)制备。本发明的抗氢气阻隔层可以有效地阻隔氢气,并具有很强的稳定性,将氮化铝钛材料镀在钢管的内壁上时,还可以减少导热流体流动的摩擦阻力。
申请公布号 CN104567047A 申请公布日期 2015.04.29
申请号 CN201410705762.1 申请日期 2014.11.27
申请人 康雪慧 发明人 康雪慧
分类号 F24J2/48(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I;B32B18/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 主分类号 F24J2/48(2006.01)I
代理机构 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 代理人 余长江
主权项 一种抗氢阻隔层,其特征在于,其材料为氮化铝钛。
地址 100022 北京市朝阳区东三环南路54号华腾园11号1810