| 发明名称 | 显示装置 | ||
| 摘要 | 一个实施方式所涉及的显示装置具备形成在树脂层(10)表面上的基底绝缘层(11)、及隔着基底绝缘层而形成在树脂层表面的上方的薄膜晶体管。基底绝缘层(11)包括第一硅氧化膜(1)、形成在第一硅氧化膜的上方的硅氮化膜(2)及形成在硅氮化膜的上方的第二硅氧化膜(3)这三层层叠构造。 | ||
| 申请公布号 | CN104576654A | 申请公布日期 | 2015.04.29 |
| 申请号 | CN201410553294.0 | 申请日期 | 2014.10.17 |
| 申请人 | 株式会社日本显示器 | 发明人 | 平松雅人;川田靖;石田有亲 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L21/314(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 一种显示装置，其特征在于，具备：基底绝缘，形成在树脂层表面上；以及薄膜晶体管，隔着所述基底绝缘层而形成在所述树脂层表面的上方，所述基底绝缘层包括第一硅氧化膜、形成在所述第一硅氧化膜的上方的硅氮化膜、及形成在所述硅氮化膜的上方的第二硅氧化膜这三层的层叠构造。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||