利用硅基波导改进的二氧化硅基阵列波导光栅装置及制备

摘要

一种改进的二氧化硅基阵列波导光栅及制作，包括输入和输出波导、平板波导和存在相邻长度差的阵列波导,输入和输出波导均包括利用第二耦合器连接的二氧化硅基波导部分和硅基波导部分，其中利用第一耦合器与二氧化硅基平板波导罗兰圆连接的为输入或输出波导的硅基波导部分；用于硅基波导和二氧化硅基波导连接的第二耦合器，位于硅基波导的输入或输出波导逐渐分开后足够距离处。硅基阵列波导光栅的信道间隔与输入或输出波导的间距成正比。为尽量避免输入或输出波导间耦合引起的串扰，输入或输出波导间需保持足够距离解耦。将二氧化硅基阵列波导光栅的输入或输出波导替换为硅基波导以减小其信道间隔。本发明工艺成熟，操作简单，成本低等优点。

主权项

一种改进的二氧化硅基阵列波导光栅，其特征是包括输入和输出波导、平板波导和存在相邻长度差的阵列波导,输入和输出波导均包括利用第二耦合器连接的二氧化硅基波导部分和硅基波导部分，其中利用第一耦合器与二氧化硅基平板波导罗兰圆连接的为输入或输出波导的硅基波导部分；用于硅基波导和二氧化硅基波导连接的第二耦合器，位于硅基波导的输入或输出波导逐渐分开后足够距离处。