狭小缝隙直线度与平面度测量的辅助装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种狭小缝隙直线度与平面度测量的辅助装置及测量方法，本辅助装置的测量端子设于阶梯测量块的上平面，阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm，阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。本测量方法将阶梯测量块安插于狭缝中，阶梯测量块下平面与狭缝测量面接触、阶梯面抵靠狭缝外端面，标靶安放于圆环形测量端子上；采用光学测量设备采集标靶参数，阶梯测量块沿狭缝端面滑动，通过光学测量设备分别采集标靶在狭缝测量面各测点的参数；通过光学测量设备得到狭缝测量面的直线度、平面度数据。本辅助装置方便实现狭小缝隙参数的精确测量，本方法克服了传统狭缝测量方式的缺陷，提高测量精度和效率，保证狭缝类设备可靠运行。

主权项

一种狭小缝隙直线度与平面度测量的辅助装置，其特征在于：本辅助装置包括阶梯测量块和圆环形测量端子，所述测量端子设于所述阶梯测量块的上平面，所述阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm，所述阶梯测量块的阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。