| 摘要 |
装置を小型化できると共に、コストを下げることができるインプリント装置およびインプリント方法を提供することを目的とする。型（１）の成型パターンを被成形物（２）に転写するためのインプリント装置であって、調圧室（30）を構成する筐体（33）と、型（１）及び被成形物（２）を支持するステージ（32）と、ステージ（32）の周囲を囲む枠体（43）と、筐体（33）とステージ（32）を接離方向に相対的に移動可能な第１移動手段（図示せず）と、筐体（33）と枠体（43）とを接離方向に相対的に移動可能な第２移動手段（46）と、調圧室（30）の流体の圧力を調節する調圧手段（35）と、ステージ（32）と、枠体（43）と、型（１）又は前記被成形物（２）と、で構成される減圧室（40）を減圧し、型（１）と被成形物（２）の間の流体を除去する減圧手段（45）と、で構成する。 |
