| 摘要 |
本発明は、スリットノズル（３０）と、塗布液の給液路（１０）と、塗布液を圧送する圧送装置（２０）と、給液路（１０）を開閉する給液用バルブ（５０）と、スリットノズル（３０）内の塗布液を吸引可能に構成された吸液手段（４０）と、スリットノズル（３０）内の残圧を除去する残圧除去手段（８０）と、給液用バルブ（５０）、吸液手段（４０）、残圧除去手段（８０）の動作を制御する制御部（７０）とを備える塗布装置において、塗布終了時に、塗布液の圧送を停止するとともに、スリットノズル（３０）内の残圧を除去した後、スリットノズル（３０）内に残留する塗布液を吸引するものである。当該構成により、複雑な制御を必要とすることもなく、塗布終了部の応答性を高めることができる。 |
