ネガ型感光性シロキサン組成物

摘要

［課題］高解像度、高耐熱性、高透明性であり、架橋剤やシロキサン化合物の分子量を上げることなく熱硬化中に発生しやすい熱ダレが抑制された、高感度・高残膜率の特性を有する感光性シロキサン組成物を提供する。［解決手段］（Ｉ）（Ｉａ）プリベーク後の膜が、５重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に可溶であり、その溶解速度が３，０００Å／秒以下であるポリシロキサン、および（Ｉｂ）、プリベーク後の膜が、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が１５０Å／秒以上あるポリシロキサンを含むポリシロキサン混合物、（ＩＩ）硬化助剤、ならびに（ＩＩＩ）溶剤を含んでなることを特徴とする、ネガ型感光性ポリシロキサン組成物。