| 摘要 |
1. Исполнительный механизм, содержащий:подвижную часть, которая может колебаться вокруг оси колебания;соединительную часть, которая проходит от подвижной части и торсионно деформируется в соответствии с колебанием подвижной части; иопорную часть, которая поддерживает соединительную часть,причем подвижная часть образует крестообразную форму в виде сверху с направления толщины подвижной части.2. Исполнительный механизм по п.1, в котором внешняя форма подвижной части в виде сверху с направления толщины, в основном, образована отрезком, который параллелен к оси колебания, и отрезком, который вертикален к оси колебания.3. Исполнительный механизм по п.1, в котором подвижная часть, опорная часть и соединительная часть сформированы путем осуществления анизотропного травления кремниевой подложки.4. Исполнительный механизм по п.3, в котором поверхность пластины подвижной части образована плоскостью (100) кремния.5. Исполнительный механизм по п.3, в котором боковая поверхность подвижной части, в основном, образована плоскостью (111) кремния.6. Исполнительный механизм по п.5, в котором на боковой поверхности подвижной части сформирована канавка, которая образует V-образную форму в поперечном сечении, перпендикулярном поверхности пластины подвижной части.7. Исполнительный механизм по п.3, в котором поверхность соединительной части образована плоскостью (100) кремния и плоскостью (111) кремния.8. Исполнительный механизм по п.1, в котором подвижная часть образует форму, симметричную относительно оси колебания подвижной части в виде сверху с направления толщины.9. Исполнительный механизм по п.1, в котором подвижная часть образует фор� |
