赤外線検出素子，赤外線検出モジュール及びその製造方法

摘要

赤外線検出素子１５では、焦電基板２０の表面側に第１基板３６が接着されている。そして、第１基板３６が焦電基板２０と比べて熱膨張係数が小さいことで、焦電基板２０の熱膨張による変形を第１基板３６で抑制できる。また、熱膨張係数差Ｄが８．９ｐｐｍ／Ｋ以下であることで、第１基板３６と焦電基板２０との熱膨張係数差が大きくなりすぎず、第１基板３６と焦電基板２０との熱膨張係数差による赤外線検出素子１５の変形を抑制できる。