Verfahren zum Herstellen eines Rohlings

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Rohlings (7) aus einem Material mit einem temperaturabhängigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der bei einer Nulldurchgangs-Temperatur (TZC) einen Nulldurchgang aufweist, umfassend: Erstellen eines dreidimensionalen Profils einer zu erwartenden Temperaturverteilung im Volumen des Rohlings (7) zu einem Zeitpunkt TP beim Betrieb eines aus dem Rohling (7) zu fertigenden optischen Elements, insbesondere eines Spiegels, in einer optischen Anordnung, Ermitteln einer ortsabhängig variierenden Verteilung (TZC(x,y,z)) der Nulldurchgangs-Temperatur (TZC) im Volumen des Rohlings (7) auf Grundlage des dreidimensionalen Profils der zu erwartenden Temperaturverteilung, sowie Herstellen des Rohlings (7) mit der ermittelten ortsabhängig variierenden Verteilung (TZC(x,y,z)) der Nulldurchgangs-Temperatur (TZC).