一种超疏水单极板数字微液滴输运装置及其制作方法

摘要

本发明公开了一种超疏水单极板数字微液滴输运装置及其制作方法。所述装置从下到上依次为基底、电极、介质层、超疏水层，其中：基底为玻璃或Si基底，电极为ITO玻璃电极、Au/Cr（Au/Ti）或Al/Cr（Al/Ti）薄膜电极，超疏水层为氮化硼纳米管。其制作方法如下：一、清洗基底；二、在基底上制备电极；三、在电极上淀积一层介质层；四、在介质层上旋涂氮化硼纳米管超疏水层。本发明的优点在于：整个数字微流控芯片采用微机械加工工艺实现，结构简单，操作方便，且易于后续功能的扩展。本发明减少了珍贵试样的浪费，且降低了驱动电压，保持了样品的生物活性，提高了实验的可行性及实用性，促进了生物医学领域实验的顺利进行，且方便与IC集成以实现更多的功能。

主权项

一种超疏水单极板数字微液滴输运装置，从下到上依次为基底、电极、介质层、超疏水层，其特征在于所述超疏水层为氮化硼纳米管。