一种用于多线切割硅片清洗过程中的真空烘干装置

摘要

本实用新型涉及一种用于多线切割硅片清洗过程中的真空烘干装置，属于硅片制备装置领域，其包括，密闭的箱体，箱体与用于抽真空的真空管相连通；在箱体内还设置有用于放置硅片的输送装置，箱体与输送装置相对应的两个侧面板上分别开有进料口和出料口，在进料口和出料口处对应配装有进料门与出料门；在输送装置与硅晶花篮相接触的位置处还设有用以温热硅片的辅热板，使用真空泵降低环境压力去除水分，避免硅片表面造成沾污，输送装置与进、出料口衔接一致，自动将承载有多个硅片的花篮输送进箱体，设备的自动化程度高，加入有一辅热板，通过辅热设备来调节内部温度，保证在取出硅片时温度大于或等于室外的露点温度，不会出现表面结露的现象。

主权项

一种用于多线切割硅片清洗过程中的真空烘干装置，其特征在于：包括密闭的箱体(1)，箱体(1)与用于抽真空的真空管相连通；在箱体(1)内还设置有用于放置硅片的输送装置，箱体(1)与输送装置相对应的的两个侧面板上分别开有进料口和出料口，在进料口和出料口处对应配装有进料门(1a)与出料门(1b)；在输送装置与硅晶花篮(3)相接触的位置处还设有用以温热硅片的辅热板(4)。