蒸镀装置、蒸镀方法、有机EL元件和有机EL显示装置

摘要

从第一和第二蒸镀源开口(61a、61b)放出的第一和第二蒸镀颗粒(91a、91b)通过限制板单元(80)的第一和第二限制开口(82a、82b)，并通过蒸镀掩模(70)的掩模开口(71)，附着在基板(10)上形成覆膜。限制板单元限制朝向基板行进的第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒在第一方向(10a)上的指向性，使得将假定没有蒸镀掩模的情况下第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒附着的基板上的区域分别设为第一区域(92a)和第二区域(92b)时，第二区域被包括在第一区域中。由此，能够利用分涂蒸镀形成使用掺杂法得到的发光层。

主权项

一种蒸镀装置，其是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模、在基板上形成与所述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，所述蒸镀装置的特征在于，包括：蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从所述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的多个第一限制开口、和从所述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口；和移动机构，其使所述基板和所述蒸镀单元中的一方沿着与所述基板的法线方向正交的第一方向相对于另一方相对地移动，所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口配置在所述第一方向的不同位置，所述多个第一限制开口和所述多个第二限制开口配置在所述第一方向的不同位置，所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得将假定没有所述蒸镀掩模的情况下所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒附着的所述基板上的区域分别设为第一区域和第二区域时，沿着与所述第一方向和所述基板的法线方向正交的第二方向观察时所述第二区域被包括在所述第一区域中，所述多个第一限制开口在所述第二方向由多个第一限制板划分，所述多个第二限制开口在所述第二方向由多个第二限制板划分，所述多个第一限制板限制向所述掩模开口入射的所述第一蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度，所述多个第二限制板限制向所述掩模开口入射的所述第二蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度。