用于生产高效多晶的石英陶瓷坩埚及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于生产高效多晶的石英陶瓷坩埚,包括坩埚本体，所述坩埚本体为石英陶瓷坩埚，坩埚本体的内表面包含高纯石英陶瓷内层。克服了传统石英陶瓷坩埚几方面的不足，一是传统石英陶瓷坩埚中的具有较高的杂质，影响下游电池片的电性能；二是传统的陶瓷生产工艺中会使坩埚中带入较高的铝含量，进而影响硅片的电阻率；三是传统石英陶瓷坩埚的热性能不佳，采用本发明的技术手段，可以降低石英陶瓷坩埚中的杂质含量，降低石英陶瓷坩埚中的铝含量，提高石英陶瓷坩埚的热性能，从而使得石英陶瓷坩埚可以更好地满足实际生产的需要。

主权项

一种用于生产高效多晶的石英陶瓷坩埚，包括坩埚本体，所述的坩埚本体为石英陶瓷坩埚，其特征在于所述的坩埚本体的内表面全部或部分包括石英陶瓷内层，石英陶瓷内层由不同粒径，纯度不低于99.99%的石英粉体烧结而成，所述的石英粉体包括粒径小于1微米的超细石英粉体，1微米‑200微米的石英粉体，200微米‑1000微米的石英骨料。