玻璃基板清洗箱及清洗装置

摘要

本发明公开一种玻璃基板清洗箱，涉及玻璃基板的清洗技术领域，能够解决药液浪费的技术问题。该清洗箱由顶面、底面和侧面围成密闭的箱体，箱体上设有进水孔、出水孔和排气孔，箱体的两个相对内侧面之间固设有隔板，隔板将箱体分割成两个底部相连通的腔体。本发明实施例中的清洗箱不会使泡沫随气体排出到箱体外部，能够有效减少药液的浪费，进而延长药液的使用时间。

主权项

一种玻璃基板清洗箱，所述清洗箱由顶面、底面和侧面围成密闭的箱体，所述箱体上设有进水孔、出水孔和排气孔，其特征在于，所述箱体的两个相对内侧面之间固设有隔板，所述隔板将所述箱体分割成两个底部相连通的腔体，所述隔板的上边缘高度高于所述箱体内清洗液液面的高度。