一种晶体硅MWT太阳能电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅MWT太阳能电池的制作方法，包括步骤：对硅片表面进行制绒；扩散工序，在所述硅片正表面形成PN结；采用湿法刻蚀对所述硅片进行去边缘PN结处理及去PSG处理；在所述硅片正表面制备减反射膜；采用激光在所述硅片上开过孔；制备形成所述硅片的正电极、负电极及过孔电极。所述制作方法，采用激光对硅片开过孔是在硅片表面制备减反射膜之后，而在制备减反射膜之前已通过湿法刻蚀一步完成对电池片的去边缘PN结处理和去PSG处理。相比于现有的制作方法，省去了单独采用激光对电池片的去边缘PN结处理，这不仅使MWT太阳能电池的制作工序大大简化，且提高了电池片生产的成品率，降低了生产成本。

主权项

一种晶体硅MWT太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：对硅片表面进行制绒；扩散工序，在所述硅片正表面形成PN结；采用湿法刻蚀对所述硅片进行去边缘PN结处理及去PSG处理；在所述硅片正表面制备减反射膜；采用激光在所述硅片上开过孔；制备形成所述硅片的正电极、负电极及过孔电极。