| 主权项 |
一种大口径窗口检测装置，其特征在于：包括相移干涉仪(1)、补偿器(2)、被测窗口(3)、标准球面镜(4)、调整机构(5)及计算机系统(6)；计算机系统(6)与相移干涉仪(1)连接，补偿器(2)位于相移干涉仪(1)和被测窗口(3)之间，被测窗口(3)位于补偿器(2)与标准球面镜(4)之间，同时被测窗口(3)与调整机构(5)连接；补偿器(2)补偿被测窗口(3)放入相移干涉仪(1)与标准球面镜(4)组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口(3)通过调整机构(5)进行调节，使相移干涉仪(1)获得被测窗口(3)上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，计算机系统(6)对所得到的所述子区域透射波前信息进行拼接数据处理获得被测窗口(3)的全口径透射波前信息；如果标准球面镜口径大于被测窗口口径，所述干涉仪(1)可直接获得被测窗口的全口径透射波前信息，无需进行多次子区域透射波前信息测量；所述相移干涉仪(1)采集到得子区域透射波前信息的两个子孔径之间的重叠区域为子孔径的30％以上，以实现高精度的数据拼接处理；所述计算机系统(6)对所得到的所述子区域透射波前信息进行拼接数据处理过程为：读入被测窗口(3)子区域数据，对重叠区域进行判断；将所有重叠区数据的差值同时进行最小二乘拟合，计算出具有全局优化的拼接参数：相位常数和倾斜；根据拼接后的数据信息绘制出被测窗口(3)的全口径透射波前信息的轮廓图和三维图；即可获得反映被测窗口(3)的全口径透射波前信息。 |
